Oberflächenwellen Sensorik für Schadstoff-Messungen: NOx-Nachweis bis in den sub-ppb Bereich mit einer zyklischen Meßmethode

Der Nachweis des Schadstoffes NO2 in der Außenluft erfordert Sensoren, die Konzentrationen bis in den untersten ppb Bereich nachweisen können. Für diese Aufgabe werden üblicherweise teure Systeme eingesetzt, die auf dem Prinzip der Chemilumineszenz beruhen. In dieser Arbeit wird ein kostengünstiger Oberflächenwellensensor vorgestellt, bei dem als Sensorsignal die zeitliche Änderung der Dämpfung der Oberflächenwelle ausgewertet wird. Eine zyklische Methode bringt den Sensor nach jeder Messung wieder in einen fast vollständig NO2-freien Zustand. Mit dieser Technik wird eine Empfindlichkeit von besser als 1 ppb im Konzentrationsbereich von 0,8 bis 150 ppb erreicht. Das Signal ist sehr stabil