TİO2 Katkılı ZnO İnce Filmler

Bu çalışmada, ince film elde etme tekniklerinden "Sputturing (Dönel Kaplama) Yöntemi" kullanılarak, cam tabanlar üzerine uygun sıcaklık ve basınç altında çinko asetat çözeltisinin eklenmesiyle ZnO yarıiletken ince filmler elde edilecektir. Ayrıca hazırlanan çözeltiye uygun miktarda TiO2 katkısı yapılarak elde edilecek olan TiO2 katkılı ZnO yarıiletken ince filmlerinin elektriksel ve optik özelikleri incelenecektir. Elde edilen filmlerin yapısal özelliklerinin incelenmesi bu filmlerin fiziksel özelliklerinin de belirlenmesinde oldukça faydalı olacaktır. Katkısız ve TiO2 katkılı ZnO ince filmlerinin X-ışını spektrumu ve SEM görüntüleri incelenerek sahip oldukları kristal ve amorf yapıları açıkça belirlenecektir.In this thesis, zinc asetate dopped ZnO thin films are produced by spin coater method on the microscope glass. Also, electrical and optical properties of TiO2 dopped ZnO semiconductor thin films are investigated. Examination of structural features of the thin films will be useful for determining the physical properties of these films. After searching XRD and SEM spectra of undopped and TiO2 dopped ZnO thin films, we have briefly introduced the crystal and amorphous structures