Pengaruh Tegangan Rf (Radio Frequency) Pada Plasma Oksigen Terhadap Jenis Spesies Plasma Dan Sifat Hidrofobisitas Permukaan Polistirena Menggunakan Optical Emission Spectroscopy (Oes)

Telah dilakukan penelitian tentang perlakuan plasma oksigen pada permukaan polistirena di atas Quartz Crystal Microbalance (QCM). Lapisan polistirena dideposisi dengan metode spin coating dengan menggunakan pelarut toluena. Perlakuan plasma oksigen dibangkitkan pada tegangan RF yang divariasi pada 60 V, 70 V, 80 V, 90 V, dan 100 V, dan parameter lain dibuat tetap pada tekanan 40 Pa dan laju alir gas 40 ml/menit. Tujuan dari penelitian ini untuk mengetahui spesies plasma yang berperanan pada proses perubahan sifat hidrofobisitas permukaan polistirena serta hubungan parameter plasma temperatur dan densitas elektron. Sifat hidrofobisitas permukaan ditentukan dengan mengukur sudut kontak menggunakan contact angle measurement. Plasma oksigen dikarakterisasi menggunakan Optical Emission Spectroscopy (OES) untuk menentukan parameter plasma. Hasil spektrum OES ditentukan dengan database NIST dan temperatur elektron dengan menggunakan grafik Boltzmann dan densitas elektron menggunakan pelebaran Stark. Spesies plasma dominan yang terdeteksi merupakan spesies OI (oksigen atom) pada panjang gelombang 774 nm dan 841 nm. Intensitas plasma oksigen mengalami kenaikan sebanding dengan meningkatnya tegangan RF. Hasil pengukuran sudut kontak menunjukkan permukaan polistirena setelah di lakukan perlakukan plasma menunjukkan penurunan sudut kontak yang menunjukkan permukaan berubah menjadi hidrofilik. Temperatur elektron dan densitas elektron mengalami kenaikan sebanding dengan meningkatnya tegangan RF