Modélisation d'une architecture innovante de microphone MEMS à détection par nano jauges

International audienceLa plateforme technologique M&NEMS développée au CEA-LETI permet d'intégrer des nano fils de Silicium employés comme jauges de contraintes en exploitant l'effet piézorésistif. Ce principe de détection est adapté pour la réalisation de senseurs auditifs miniaturisés destinés à des applications dans le domaine médical ou l'électronique grand public. Le microphone MEMS étudié possède une architecture originale qui fait intervenir des structures mécaniques sensibles oscillant dans le plan du dispositif. Après la description du principe de fonctionnement, cet article présente la démarche de modélisation employée pour la prise en compte des conditions aux limites mécaniques et thermiques, et des phénomènes de diffusion visqueuses et thermiques dans l'air (couches limites). Son implantation dans un code éléments finis permet le calcul numérique de la sensibilité en pression du microphone. Les solutions des simulations sont interprétées en se focalisant sur les phénomènes influant sur la sensibilité de cette nouvelle architecture de capteur