Рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния

Рассматривается эпитаксиальный рост квантовых точек германия на окисленной поверхности кремния. Предложена кинетическая модель зарождения и роста трехмерных островков по механизму Фольмера – Вебера в этой системе. Получены зависимости среднего размера и поверхностной плотности квантовых точек от параметров их синтеза. Предложенная теоретическая модель может быть легко перенесена и на другие материальные системы, в которых реализуется рост островков по механизму Фольмера – Вебера