Modeling of Inertial Sensors

Tato diplomová práce se zabývá měřením a modelováním MEMS inerciálních snímačů. V této práci jsou uvedeny základní principy inerciálních snímačů spolu s jejich nejčastěji se vyskytujícími chybami. Dále je proveden průzkum trhu, pomocí kterého byly vybrány snímače pro měření. Následují dvě kapitoly uvádějící metody testování a modelování inerciálních snímačů. Nejrozsáhlejší částí práce je prezentace naměřených výsledků, kdy byly provedeny statické měření Allanovy odchylky, zemské rotace, teplotní závislosti nuly snímačů a dynamické testy citlivosti gyroskopu v závislosti na teplotě. V poslední části práce je prezentován návrh chybového modelu snímače pomocí autokorelačních funkcí a Allanovy odchylky se zhodnocením dosaţených výsledků.This master thesis deals with measurement and modeling of MEMS inertial sensors. This paper describes basic principles of inertial sensors along with their most often errors. The next part shows results from inertial sensor market analysis, which enabling a selection of sensors to be measured. The following two chapters present methods for inertial sensor modeling and testing. The biggest part of text is dedicated to presentation of measurement results showing us static measurement of Allan variance, Earth rotation, temperature dependent bias and dynamic measurement of gyroscope sensitivity testing over temperature. In the last part of the thesis is presented a design of sensor error model by autocorrelation function and Allan variance and also an evaluation of achieved results.