Analysis of a-SiOC:H films by selected spectroscopic techniques

Táto bakalárska práca sa zaoberá prípravou tenkých vrstiev plazmových polymérov na báze tetravinylsilanu pomocou metódy plazmochemickej depozície z plynnej fázy a ich charakterizáciou pomocou vybraných spektroskopických techník. Teoretická časť je literárna rešerše z oblasti plazmochémie a spektroskopických metód charakterizácie tenkých vrstiev plazmových polymérov. Praktická časť pozostávala z prípravy dvoch sérii vzoriek a ich charakterizácie. Pripravené tenké vrstvy plazmových polymérov boli charakterizované pomocou vybraných spektroskopických techník. Hrúbka a optické parametre boli stanovené pomocou spektroskopickej elipsometrie. Chemická štruktúra bola charakterizovaná pomocou infračervenej spektroskopie. Výsledky poukazujú na možnosť riadiť fyzikálno-chemické vlastnosti tenkých vrstiev plazmových polymérov na báze tetravinylsilanu pomocou depozičných podmienok a teda na možnosť prípravy materiálov šitých na mieru pre najrôznejšie použitie.This bachelor thesis deals with preparation of thin plasma polymer films on the basis of tetravinylsilane by plasma-enhanced chemical vapour deposition and film characterization by selected spectroscopic techniques. The theoretical part is a background research about plasma chemistry and spectroscopic methods of characterisation of thin plasma polymer films. The practical part consisted of preparation of two series of samples and their characterization. Prepared thin plasma polymer films were characterized by selected spectroscopic techniques. Thickness and optical constants were determined by spectroscopic elipsometry. Chemical structure was characterized by infrared spectroscopy. The results indicate the possibility of managing physico-chemical properties of thin plasma polymer films on the basis of tetravinylsilane by deposition conditions and thus possibility of preparation materials tailored to a variety of applications.