An X-ray Scattering Study of Laterally Modulated Structures: Investigation of Coherence and Resolution Effects with a Grating

An X-ray scattering experiment at small angle of incidence from the laterally modulated structure of a grating is reported. The attention is mainly focused on the determination of the linewidth of the different diffracted orders observed in transverse scans parallel to the surface of the grating. It is shown that the width of the different orders decreases when the incident angle increases and that the evolution of the width is consistent with the evolution of the instrumental resolution. It is also shown that if the spatial coherence of the beams is defined by the angular apertures of the incident and outgoing beams a identical behavior is expected at least when the diffracted orders are well separated.L'étude par diffraction des rayons X aux petits angles de la structure modulée latéralement d'un réseau est présentée. Notre attention a été portée plus particulièrement sur la détermination de la largeur à mi-hauteur des différents ordres de diffraction observés dans des mesures faites parallèlement à la surface du réseau. Nous montrons que la largeur à mi-hauteur des ordres de diffraction décroît avec l'augmentation de l'angle d'incidence du faisceau sur la surface ce qui est en accord avec l'évolution de la fonction de résolution instrumentale. En prenant en compte la divergence angulaire du faisceau incident et du faisceau diffracté pour définir la cohérence spatiale du faisceau, nous obtenons une loi d'évolution identique ce qui nous permet de conclure que, pour des pics de Bragg bien séparés, les effets de cohérence et de résolution sont indiscernables