La nano-indentation, le gonflement de film et la flexion de poutre ; trois essais complémentaires pour caractériser les propriétés mécaniques des matériaux en faibles épaisseurs. Application au cas du Nickel électrodéposé

Dans le contexte de la science des matériaux en faibles dimensions qui s'évertue à comprendre le comportement thermomécanique des matériaux utilisés dans la réalisation des micro-dispositifs, on présente trois techniques expérimentales complémentaires permettant de quantifier, via des calculs numériques par la technique des E.F., les comportements élastique et inélastique de la matière. On présente une application de ces techniques, à savoir : la nano-indentation, le gonflement de films minces et la flexion de poutres, au cas du Nickel électrodéposé. On en déduit les évolutions du module d'Young, des contraintes résiduelles, de la dureté et des paramètres d'écrouissage en fonction de la nature du substrat et de la densité du courant d'électrodéposition