Étude d'une source d'ions de basse énergie et à forte densité de courant

An ion source of low energy (from 5 to 100 electron-volts) has been carried out. The extracted ion current density is higher than what has been obtained so far in this energy range. The extraction system is made of a thin mesh grid. The holes dimension is smaller than the sheath thickness in the ionization chamber.Une source d'ions de basse énergie (entre 5 et 100 électrons-volts) a été mise au point. La densité du courant d'ions extrait est supérieure à ce qui a été obtenu jusqu'ici dans cette gamme d'énergie. Le système d'extraction est constitué d'une grille à maille très fine. La dimension des trous est inférieure à l'épaisseur de gaine dans la chambre d'ionisation