Description of a new Micro-XRay spectrometer

X-Ray fluorescent spectroscopy is introduced for elemental analysis of large homogeneous specimens. But very often it is also necessary to examine inhomogeneous samples, small particles or inclusions etc. Therefore it is interesting to have the opportunity to generate an excitation beam with a small spot By using a synchrotron facility this is possible already for a longer time. But now with the availability of X-Ray optics it is also possible to manufacture benchtop instruments that are able to analyse small sample areas in acceptable measuring times. For a routine instrument the capillary optics seems to have advantages against other X-ray optical systems because of their robustness against mechanical influences and the high intensity gain. Either mono-capillaries or poly-capillary lenses can be used for the analysis of inhomogeneous samples with a spatial resolution down to 10 $\mu$m and less. The intensity gain in comparison to pinhole collimators is up to 3 magnitudes of order. The paper describes an instrument that works with capillary optical systems and opens the possibility for a micro-beam fluorescent analysis. The design of the instrument is described and also some information regarding the use of the instrument is given. The examination of a geological sample is shown as an example for use of the Micro-beam X-ray fluorescence.La spectroscopie par micro fluorescence X est introduite pour l'analyse élémentaire d'échantillons homogènes de grande taille. Mais très souvent, il est nécessaire d'examiner des échantillons non homogènes, des petites particules ou des inclusions, etc. Donc, il est intéressent d'avoir la possibilité de générer un faisceau excité focalisé en un point de petite taille. En utilisant un synchrotron, ceci est possible depuis longtemps. Mais maintenant avec la disponibilité de lentilles polycapillaires, il est aussi possible de fabriquer des instruments de table qui sont capable d'analyser un échantillon de petite surface en un temps de mesure acceptable. Pour un instrument courant, les optiques capillaires semblent avoir des avantages contres d'autres systèmes optiques rayon X, comme leur robustesse contre les influences mécaniques et le fort gain d'intensité. Des mono capillaires ou des poly capillaires peuvent être utilisé pour l'analyse d'échantillons non homogènes avec une résolution spatiale de 10 $\mu$m et moins. Le gain d'intensité en comparaison à un collimateur de la forme d'une tête d'épingle est jusqu'à 3 fois la magnitude de l'autre. Le document décrit un instrument qui travaille avec des systèmes optiques de capillaires et ouvre la possibilité d'une analyse de micro fluorescence. La conception de l'instrument est donnée et aussi quelques informations sur son utilisation. L'examen d'un échantillon géologique est donné comme exemple de l'utilisation de la micro fluorescence X