Oxygen segregation on a dislocation core in germanium studied by electron energy loss spectroscopy

Nanoanalyses performed on a dislocation core in germanium give evidence of oxygen precipitation : a few hundreds of oxygen atoms at a mean concentration of 5 % were detected. A radiation induced oxygen desorption is also observed under the electron beam for which a mixed knock-on and ionization process is proposed. This phenomenon is the main limiting factor for a more quantitative analysis.Des analyses à l'échelle du nm sur le cœur de dislocation dans le germanium ont mis en évidence la présence de l'oxygène : quelques centaines d'atomes d'oxygène à une concentration moyenne de 5 % sont détectés grâce à un microscope électronique à balayage muni d'un filtre de vitesse. Une désorption d'oxygène induite par les électrons est observée sous le faisceau. Ce phénomène est interprété comme étant la succession d'un processus d'ionisation puis de diffusion assistée par choc à l'interface oxyde-germanium