Mesure simultanée des facteurs de réflexion et de transmission des couches minces, et des changements de phase correspondants

Abstraet. — In order to determine the optical properties of thin layers, a method has been set up for the simultaneous measurement of the reflection and transmission factors R, R' and T and of the corresponding phase changes Δr, Δ r' and Δt. Superposition fringes obtained with two Fabry-Perot etalons are used for this purpose. The principal interest of this method resides in the two following facts : firstly the measurements of R, R', T and Δr are simultaneous and are effected at the same point of the layer, and secondly, the accuracy of the phase change measurement is increased appreciably by the use of the photoelectric receiver.En vue de la détermination des propriétés optiques des couches minces, on a mis au point une méthode permettant de mesurer simultanément les facteurs de réflexion et de transmission R, R' et T, et les changements de phase correspondants Δr, Δr' et Δ t. On utilise dans ce but des franges de superposition obtenues avec deux étalons de Perot-Fabry. L'intérêt principal de cette méthode réside dans les deux faits suivants : d'une part, les mesures de R, R', T et Δr sont simultanées et se font sur le même point de la couche, d'autre part, l'utilisation du récepteur photoélectrique pour la mesure des changements de phase accroît notablement la précision de ceux-ci