Electrostatic analysis of backscattered heavy ions for semiconductor surface investigation

The capabilities of Rutherford backscattering in surface analysis are limited by the energy resolution of the solid state detectors and their rapid degradation for heavier projectiles. Here, we investigate the possibilities of an electrostatic analyser (ESA) detecting heavy projectiles (7Li+, 12C +) backscattered from various compound semiconductor surfaces, essentially with respect to mass and depth resolution.Les possibilités d'analyse de surface par rétrodiffusion de particules chargées sont limitées, à l'heure actuelle, par la résolution limitée des détecteurs à semiconducteurs et par la dégradation rapide de leurs performances pour des projectiles lourds. Dans cet article, nous décrivons les possibilités offertes par un analyseur électrostatique, capable de détecter des ions lourds (7Li +, 12C+) pour l'analyse des surfaces de semiconducteurs composés. Un intérêt particulier est porté aux problèmes de résolution en masse et de résolution en profondeur