Influence des contraintes résiduelles et de la texture sur les propriétés mécaniques de films minces de Cr élaborés par pulvérisation cathodique RF

Le chrome est souvent utilisé comme sous-couche pour permettre ou améliorer l’adhésion. Des analyses de contraintes résiduelles et de la microstructure des films minces de chrome élaborés par pulvérisation cathodique RF ont été réalisées afin de définir les conditions d’élaboration optimums pour incorporer celui-ci dans une métallisation existante. Une transition des contraintes résiduelles de compressiontension est observée suivie d’une relaxation lorsque la pression de travail est augmentée. Une évolution de la composante de texture du chrome apparaît également. L’apparition de fortes contraintes de compression et le développement de la texture de fibre {1 1 0} liés au bombardement très énergétique à faible pression engendre un film mince de Cr possédant une dureté élevée. L’augmentation de la pression de travail diminuant l’énergie des atomes pulvérisés arrivantla surface de l’échantillon engendre d’une part une diminution des contraintes de compression et d’autre part une évolution de la composante de texture. Un film mince de chrome possédant un état de contrainte en tension et une texture de fibre {1 1 1} présente une dureté relativement faible