Pertinence de techniques de mesures morphologiques de surfaces usinées par usinage de haute précision

La pertinence de trois techniques de caractérisation topographiques (Microscope à Force Atomique, microscope interférométrique et profilomètre tactile) a été étudiée sur des surfaces de faibles rugosités réalisées sur un tour de haute précision avec un outil en diamant monocristallin. Une étude multi-échelle des résultats de chaque instrument montre que sur une surface de faible rugosité (Ra ≤ 10 nm) et de texture régulière, les valeurs obtenues du paramètre Ra (de 0,1 à 10 nm) sont cohérentes sur un domaine d'évaluation de longueur variable (de 10 nm à 3 mm). Quand la surface a un paramètre Ra équivalent mais une texture plus aléatoire, le Microscope à Force Atomique et le profilomètre tactile présentent une bonne cohérence de résultats, alors que les valeurs de Ra obtenues avec le microscope interférométrique sont légèrement inférieures aux précédentes. Cette baisse est due à un effet de "moyennage" lié à la technique de mesure de cet appareil. Par ailleurs, la valeur de l'amplitude du paramètre Rt (Pic–Vallée) mesurée avec le microscope interférométrique est inférieure, quelle que soit l'étendue de mesure à celle mesurée par les autres appareils. Cette étude multi-échelle montre la pertinence de l'emploi de ces trois instruments de mesure sur des surfaces (usinées en haute précision) en fonction des paramètres de rugosité choisis et du type de texture que présente la surface