Optimisation des paramètres de dépôt de DLC par ablation laser U.V. de carbone vitreux

Les couches de carbone tétraédrique réalisées par ablation laser (PLD) à forte fluence présentent des propriétés physiques particulièrement intéressantes. Toutefois, dans ces conditions, l'ablation de cibles de graphite s'accompagne de l'éjection de particules solides qui nuisent aux qualités des films. L'utilisation de cibles de carbone vitreux, dans des conditions particulières, permet d'éviter cet écueil. Nous présentons une étude du panache d'ablation par laser KrF d'une cible de carbone vitreux par imagerie résolue en temps et spectralement. les résultats sont comparés à ceux obtenus avec une cible de graphite