ELECTROLUMINESCENCE FROM SILICON DEVICES -A TOOL FOR DEVICE AND MATERIAL CHARACTERIZATION-
- K. PENNER
DOIAbstract
La lumière généré à l'intérieur d'un composant de silicium donne à la même fois des informations sur le fonctionnement du composant ainsi que sur les matériaux utilisé. On a installé un système d'enregistrement photographique amélioré avec une sensibilité spectrale du proche UV à proche IR (300-1200nm) qui permit l'enregistrement de phénomène d'électroluminescence diverses, avec une résolution temporelle et spatiale très haut.The light distribution generated by electroluminescence phenomena inside silicon devices yields information on the functioning of the devices as well as on the materials used. An improved camera system has been installed, with a spectral sensitivity from near UV to near IR (300-1200nm) allowing the registration of vari...
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