Processo De Fabricação De Substratos Baseados Em Compósitos Para Aplicação Em Tecnologia De Microssistemas

Um processo de fabricação de substratos de compósitos baseados em misturas de grafite/epóxi para utilização em tecnologia de microssistemas foi desenvolvido. Microssistemas tem sido um campo científico de considerável avanço na última década. Vários aparelhos têm sido fabricados usando a tecnologia de microssistemas, tais como micromáquinas para a separação de DNA, eletrocromatógrafos e sistemas para eletroforese capilar, além de microdispositivos eletro-mecânicos como acelerômetros, sensores de pressão, umidade, poluição, temperatura, dentre outros. Contudo, um dos problemas que ocorre na construção destes dispositivos é a escolha adequada do material a ser utilizado como substrato. Embora vidro e silício tenham sido excelentes materiais adotados na eletrônica, eles não parecem ser os materiais mais convenientes para aplicações em análises biológicas e químicas, principalmente devido à incompatibilidade com partes móveis e reagentes corrosivos. Além disto, na elaboração de micro-transdutores é necessário à deposição de filmes finos de metais nobres (ouro ou platina) sobre estes substratos, o que aumenta o custo de produção destes dispositivos. Compósitos é uma classe de material que pode ser uma alternativa de baixo custo a ser implementada em tecnologia de microssistemas. Esta ideia foi testada no desenvolvimento de um processo de fabricação de substratos de grafite/epóxi de baixo custo para ser utilizado na produção de micro-transdutores eletroquímicos e máscaras de raios-X empregada no desenvolvimento de microssistemas.BR0300080 (A)C08L63/00G01N27/333H01L21/00H01L21/00C08L63/00G01N27/333BR20030300080C08L63/00G01N27/333H01L21/00H01L21/00C08L63/00G01N27/33