Source d'ions Cs+ simple pour pulvérisation ionique

A simple alcaline ion source has been developed in order to produce the primary ion beam of a few keV, for the sputtering ion source of a mass spectrometer. This source, using a power of about 30 W, is able to produce an ion beam of the order of 10-5 A for more than 100 hours. A unipotential lens has been added to the source, so that we can obtain an ion density of 100 μA/cm2 on a surface of 0.5 mm2, which is what we needed.Nous avons mis au point une source d'ions alcalins de conception simple, destinée à produire le faisceau d'ions primaire d'une énergie de quelques keV, de la source à pulvérisation ionique d'un spectromètre de masse. Cette source peut produire un faisceau d'ions de l'ordre de 10-5 A pendant plus de 100 heures, en utilisant une puissance d'environ 30 W. Nous avons adjoint à cette source une lentille unipotentielle qui permet d'obtenir une densité ionique de 100 μA/cm2 sur une surface de 0,5 mm 2, ce qui répond à nos besoins