Étude de texture hétérogène d'une couche mince par diffraction X

une méthode adoptant des stratégies de mesures différentes qui combine soit les techniques de Schulz et de faible incidence, soit des mesures goniométriques à profondeur constante de pénétration des rayons X, est décrite pour déterminer les gradients de texture dans les couches minces. Cette méthode est testée sur des échantillons possédant un gradient artificiel connu de texture ; les résultats d'analyse quantitative de la texture par la méthode vectorielle sont présentés.a method using different strategies of measurement which combines the Schulz technique and the small incidence one, or measurement with a constant penetration depth of X rays, is described to determine the texture gradients in thin films. This method is tested on samples processing an artificial texture gradient; quantitative texture analysis results made with the vectorial method are presented