SOME ASPECTS OF THE SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPE CONTRIBUTIONS IN THE EVALUATION OF DEVICE RELIABILITY

La microscopie acoustique, une technique non destructive d'investigation des circuits microélectroniques est présentée dans cet article. Des applications spécifiques ont été effectuées sur des structures typiquement rencontrées dans la plupart des circuits à semiconducteurs.The scanning acoustic microscope, a technique suited to non-destructive investigations of microelectronic devices is presented in this paper. Specific applications are carried out on structures typically encountered in most of semiconductor components