CAPELLA : une source de rayonnement extrême UV à 13.5 nm par décharge capillaire

Au GREMI, nous étudions le fonctionnement d'une lampe de rayonnement Extrême Ultraviolet (EUV) émettant à 13.5 nm : CAPELLA. Cette lampe consiste en une décharge capillaire dans un flux de xénon continu à basse pression. L'utilisation de Xénon à basse pression dans cette décharge permet la production de photons de faible longueur d'onde dans l'EUV. Dans cet article, nous présentons l'étude et la caractérisation de cette lampe ainsi que ses principales performances, en particulier les résultats des analyses des débris émis par la lampe pendant quelques millions de tirs