THEORETICAL STUDY OF THE SPATIAL RESOLUTION OF X-RAY MICROANALYSIS IN ANALYTICAL ELECTRON MICROSCOPY

La résolution spatiale de la microanalyse par rayons X a été étudiée par des calculs Monte-Carlo, en incluant la production d'électrons secondaires. Les résultats pour Au Mα dans un film mince d'or de 1000 Å à 100 keV diffèrent de ceux obtenus sans tenir compte de la production d'électrons secondaires. Des calculs ont été faits avec la section efficace de Mott au lieu de celle de Rutherford écrantée, pour la diffusion élastique. Des différences notables sont trouvées entre les trois modèles.The spatial resolution of X-ray microanalysis has been investigated by Monte Carlo calculations, including knock-on secondary electron production. The results for AuMα in a l000Å thin Au film at 100 keV showed an appreciable difference from the ones without knock-out events. Also calculations have been done with the Mott cross-section instead of the screened Rutherford cross-section for elastic scattering. A significant difference was found in the results among the three models