Método Rápido E Indireto De Medida De Espessuras De Filmes Poliméricos - Que Não Possuem Elementos Que Absorvam Raios X - Utilizando Espectrometria De Fluorescência De Raios X De Energia Dispersiva (edxrf)

MÉTODO RÁPIDO E INDIRETO DE MEDIDA DE ESPESSURAS DE FILMES POLIMÉRICOS - QUE NÃO POSSUEM ELEMENTOS QUE ABSORVAM RAIOS X - UTILIZANDO ESPECTROMETRIA DE FLUORESCÊNCIA DE RAIOS X DE ENERGIA DISPERSIVA (EDXRF). Patente de Invenção que descreve o desenvolvimento de um método rápido e indireto de medida de espessuras de filmes poliméricos utilizando Espectrometria de Fluorescência de Raios X. No método são utilizados anteparos metálicos sob os filmes e é medida a atenuação da linha de emissão do elemento deste anteparo. Após introdução destes valores de atenuação em uma equação de calibração previamente obtida para aquele filme, é determinado a sua espessura real. Os anteparos metálicos utilizados foram de chumbo, cobre e alumínio. As medidas mostraram que o método é rápido, sendo estas realizadas em 100 segundos durante o processo de irradiação. Os valores encontrados de coeficientes de correlação das curvas analíticas obtidas mostraram que a técnica é promissora (R chegando até 1). Os limites de detecção alcançados (LD variando de 0,043 a 4,04 µm) mostraram valores aplicáveis para amostras reais, principalmente aquelas com interesse industrial.BR0301390 (A)G01N21/69G01N21/69BR20030301390G01N21/69G01N21/6