LITBANG PEMBUATAN DETEKTOR GAS BERBAHAN LAPISAN TIPIS ZnO SEBAGAI SENSOR TUNGGAL

Telah dilakukan pembuatan detektor gas yang didisain dengan menggunakan lapisan tipis sebagai sensor tunggal. Bahan lapisan tipis yang digunakan untuk penelitian ini adalah ZnO yang telah sputtering dalam substrat kaca. Disain detektor meliputi housing tempat bahan sensor berada yang dilangkapi dengan sistem pemanas dan sistem elektronik yang membuat hasil pengukuran ditampilkan dalam bentuk digital. Hasil penelitian menunjukkan kinerja detektor yang dibuat secara keseluruhan cukup bagus. Sistem pemanas dengan sumber tenaga listrik AC mampu mencapai suhu 350o C dan lapisan tipis ZnO memberikan respon dan sensitivitas yang cukup baik terhadap jenis gas tertentu