Deposisi Multi-Lapisan Katup-Spin nife/Cu/Co/nio DAN Co/Cu/Co/nio Papa Substrat Si

Telah dilakukan penelitian multi-lapisan katup-spin dari deposisi bahan NiFe1Cu/Co/Ni0 dan Co/Cu/Co/NiO pada bahan substrat Si. Proses deposisi menggunakan metoda radio frekuensi (RF) sputtering pada frekuensi 13,56 MHz. Hasil analisis menggunakan spektrum energi sinar-7 pada sampel yang telah di-aktivasi dengan netron cepat, menunjukkan bahwa elemen-elemen Ni, Fe, Cu dan Co telah terdeposisi dengan baik pada substrat. Sedangkan hasil fotografi menggunakan SEM memperlihatkan bagian permukaan dan tampang lintang dari struktur multi-lapisan. Anaiisis XRD menunjukkan bahwa multi lapisan mempunyai struktur kristal yang didominasi oleh unsur NiFe berbentuk kubik pusat permukaan dan berorientasi pada bidang 111. Kata kunci: multi-lapisan, katup-spin, sputtering