Mikrorelais sind miniaturisierte elektrisch betätigte Schalter. Trotz zahlreicher Forschungsprojekte und Veröffentlichungen zu dem Themengebiet existiert jedoch bis jetzt keine Übersicht, die alle relevanten Teilbereiche behandelt. Dadurch herrscht bei der Verwendung von Begriffen sowie der Bewertung von Mikrorelais Unsicherheit. In der vorliegenden Arbeit soll daher ein Überblick über den Stand der Technik der Mikrorelais gegeben werden. Hierzu wird ein theoretisches Fundament erarbeitet, das eine Definition des Begriffes »Mikrorelais« und eine Abgrenzung von anderen Schalterarten erlaubt. Um eine Bewertung der Eigenschaften von Mikrorelais zu ermöglichen, werden Kenngrößen hergeleitet, mit denen ein Mikrorelais charakterisiert werden kann...
Die natürliche Umwelt wird in unserer fortschrittlichen Industriegesellschaft zunehmend durch Schads...
Die Entwicklung der Halbleiterfertigung und der Mikroelektronik führte in den vergangenen Jahren zu ...
Zunehmende Miniaturisierung für die Mikro- und Nanotechnik stellt immer höhere Anforderungen an die ...
Die Entwicklung der Halbleitertechnik, die 1948 mit der Erfindung des Transistors einen ersten aufse...
Das Beispiel der Elektrotechnik zeigt, daß durch die Miniaturisierung von Bauelementen grundlegende ...
Im Rahmen des Forschungsvorhabens wurde ein mikrowellenbasiertes Aufschlussverfahren für die Trennun...
Das Einbringen von Strukturen im Submillimeterbereich in gehärteten Werkzeugstahl stellt die Prozess...
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk a...
In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk a...
Die Miniaturisierung von mikrofluidischen Systemen und Funktionselementen stellt, bedingt durch stei...
Die Mikromechanik macht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bishe...
Das Ziel dieses Aufsatzes ist, den augenblicklichen Stand und die Entwicklung der Mikrotechnik im Hi...
Die Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgr...
Derzeit befinden sich über ein Dutzend verschiedene Mikropumpen in der Entwicklung. Den meisten ist ...
Die Forderung nach höherer Integrationsdichte in der Elektronik und weiterer Miniaturisierung von Co...
Die natürliche Umwelt wird in unserer fortschrittlichen Industriegesellschaft zunehmend durch Schads...
Die Entwicklung der Halbleiterfertigung und der Mikroelektronik führte in den vergangenen Jahren zu ...
Zunehmende Miniaturisierung für die Mikro- und Nanotechnik stellt immer höhere Anforderungen an die ...
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Das Beispiel der Elektrotechnik zeigt, daß durch die Miniaturisierung von Bauelementen grundlegende ...
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In der vorliegenden Arbeit wird der Nachweis erbracht, dass ein miniaturisiertes Schrittschaltwerk a...
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Die Mikromechanik macht die Herstellung extrem feiner mechanischer Strukturen aus Silizium mit bishe...
Das Ziel dieses Aufsatzes ist, den augenblicklichen Stand und die Entwicklung der Mikrotechnik im Hi...
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Derzeit befinden sich über ein Dutzend verschiedene Mikropumpen in der Entwicklung. Den meisten ist ...
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Zunehmende Miniaturisierung für die Mikro- und Nanotechnik stellt immer höhere Anforderungen an die ...