Miniaturisierter Differenzdrucksensor für kleine Messbereiche

Zusammenfassung: Gegenstand dieser Studienarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors mit piezoresistiven Siliziumsensor, der zur Durchflussmessung nach dem Wirkdruckverfahren eingesetzt wird. Aufbauend auf einem Entwurfsalgorithmus zur Bestimmung des statischen und dynamischen Übertragungsverhaltens wird in der vorliegenden Arbeit ein Gesamtkonzept für den Entwurf eines optimierten Sensorgehäuses erarbeitet. Die Sammlung und Bewertung der dafür nötigen konstruktiven und technologischen Parameter stellt eine Hauptaufgabe dar. Es werden eine Reihe von Konstruktionen erarbeitet, um einen den gegebenen Anforderungen entsprechenden Sensor zu erhalten. Es existieren 3 vollständige Entwürfe (Werkstattzeichungen) und 4 Konstruktionsvorschläge. Im zweiten Teil der Arbeit werden Untersuchungen an Prototypen durchgeführt, um die Aussagen des Entwurfsalgorithmus bezüglich des statischen und dynamischen Uebertragungsverhaltens zu verifizieren. Eine endgültige Auswertung der Messergebisse konnte auf Grund fehlender Referenzdaten nicht vorgenommen werden. Die Ergebisse lassen aber auf die prinzipielle Richtigkeit des Algorithmus schliessen