Miniaturisierter Differenzdrucksensor

Zusammenfassung: Gegenstand dieser Diplomarbeit ist die Entwicklung eines miniaturisierten Differenzdrucksensors für das Einsatzgebiet der Durchflußmessung nach dem Wirkdruckverfahren. In der vorliegenden Arbeit erfolgt eine Sammlung und Bewertung von Wirkprinzipien für die Differenzdruckmessung. Ausgehend von der Auswahl eines geeigneten Primärsensors werden in einem Entwurfskatalog Grobkonstruktionen für miniaturisierte Differenzdrucksensoren zusammengefaßt. Im Mittelpunkt der Diplomarbeit steht die Ableitung eines geschlossenen Entwurfsalgorithmus für den quasistatischen und dynamischen Einsatzfall des Sensors. Auf der Basis dieser Entwurfsgrundlagen werden zwei Sensoren entwickelt und untersucht und eine Fehlerabschätzung durchgeführt. Die erarbeiteten Feinentwürfe dienen als Vorlage für den vorgesehenen Bau und Test von Prototypen zur Differenzdruckmessung an Blenden und Sonden. Technische Daten: * Differenz-Nenndruckbereich: 0 - 2 kPa (0 - 20 mbar) * Wandlersystem: piezoresistiv * Aufbau: Edelstahlgehäuse mit Trennmembranen * Durchmesser: 9 mm * Bautiefe: 9.8 m