Fabrikasi Sensor Gas Karbon Monoksida (CO) Berbasis Lapisan Tipis ZnO:Al

Dalam penelilian ini lelah dibuat sensor gas CO berbasis lapisan lipis Zn0:Al. Lapisan lipis ZnO:Al ditumbuhkan pada substrat alumina yang terintegrasi elektroda dan pemanas dari lapisan perak (Ag). Lapisan tipis ZnO:Al ditumbuhkan dengan teknik DCSputtering dengan parameter deposisi yaitu tegangan DC 3 kV, arus listrlk 10 mA, tekanan 1x10-1 torr, jarak elektroda 2,5 cm, suhu substrat 200 oC, dan waktu deposisl 120 menit. Karakteristik sensor gas meliputi penentuan suhu operasi, sensitivitas, waktu tanggap, dan kestabilan sensor. Hasil pengujian karakteristik sensor menunjukkan bahwa lapisan tipis ZnO:Al memiliki waktu tanggap (56,7 ± 3,3) sekon, dengan sensitivitas sebesar 59,92% pada konsenlrasi gas CO 4423 ppm. Uji kestabilan sensor menunjukkan bahwa sensor gas CO berbasis lapisan tipis Zn0:Al lebih stabil pada suhu operasi yaitu 180°C