Studi Pengaruh Ukuran Butir Dan Tekanan Kompaksi Pada Bahan Target Karbon Berbahan Dasar Tempurung Kelapa Untuk Deposisi Lapisan Tipis Diamond Like Carbon (Dlc)

Telah dilakukan penelitian pembuatan bahan target karbon (pelet) sebagai bahan pelapisan (coating) lapisan tipis (thin film) pada diamond like carbon (DLC). Karbon yang digunakan adalah tempurung kelapa dengan suhu karbonisasi 6000C. Variasi yang digunakan dalam penelitian adalah variasi ukuran butir 74 µm, 54 µm dan 37 µm, variasi tekanan kompaksi 264 kN, 330 kN dan 396 kN, serta variasi suhu sintering 10000C, 5000C dan 1000C. Dari penelitian ini dihasilkan sampel bahan target karbon (pelet) yang dihitung kerapatannya dan kuat tekannya menggunakan uji tekan. Hasil penelitian menunjukkan bahan target karbon yang telah dilakukan sintering pada suhu 1000C memiliki kekuatan mekanik. Ukuran butir berpengaruh terhadap nilai kuat tekan dengan peningkatan tekanan kompaksi mengalami tren turun-naik. Nilai kerapatan dan kekuatan mekanik tertinggi dihasilkan pada ukuran butir 74 µm dengan tekanan kompaksi 264 kN sebesar 0,84 gram/cm3 dan 1,08 N/m2. Ada ketidaksesuaian antara sifat bahan pada umumnya dengan hasil penelitian. Dimana berdasarkan sifat bahan pada umumnya semakin kecil ukuran butir serta semakin besar tekanan kompaksi yang dihasilkan maka semakin tinggi nilai kerapatannya dan kuat tekannya. Namun berdasarkan sifat property bahan tersebut, sampel bahan target karbon dapat digunakan sebagai bahan untuk deposisi lapisan tipis (thin film) diamond like carbon (DLC) pada plasma RF Sputerring