Pengaruh Kecepatan Putar Terhadap Struktur Kristal Timbal Zirkonat Titanat Pb(ZrxTi1-X)O3 Yang Dideposisi Dengan Metode Spin Coating

Telah dilakukan penelitian tentang pengaruh kecepatan putar terhadap struktur kristal PZT. Proses pembuatan prekursor PZT dilakukan dengan metode sol-gel dan penumbuhan lapisan tipis PZT diatas substrat silikon (100) dengan metode spin coating. Pendeposisian dilakukan dengan kecepatan putar 800 rpm, 1000 rpm, dan 1200 rpm. Selanjutnya dilakukan proses anil pada suhu 600 oC selama dua jam. Karakterisasi data menggunakan metode difraktometer sinar-X pada 2θ 15°-70° dengan kα 1,540598 Å. Kecepatan putar mempengaruhi ketebalan lapisan tipis. Peningkatan ketebalan berpengaruh terhadap peningkatan ukuran butir kristal. Pada penelitian ini kecepatan putar optimal adalah 1000 rpm dengan orientasi bidang kristal yang terbentuk adalah (100), (110), (111), (200), (102), (211), dan (022)