Perancangan dan Pembuatan Alat Ukur Tekanan Ruang Vakum dengan menggunakan Metode Ionisasi

Pengukuran tekanan dalam suatu ruang hampa telah dikembangan dengan berbagai metode. Salah satu metode yang dapat digunakan adalah metode ionisasi yaitu pembentukan ion suatu molekul gas di dalam sistem ruang hampa akibat tumbukan antara elektron bebas dan molekul gas tersebut, yang akan ditangkap oleh pengumpul ion (kolektor) sebagai arus kolektor. Metode ionisasi ini terdiri dari 3 buah elektroda yaitu katoda sebagai penghasil elektron, anoda sebagai pemercepat elektron dan kolektor sebagai pengumpul ion. Masing-masing elektroda membutuhkan catu daya sebagai sumber tegangan yang dirancang menggunakan sistem DC-AC Inverter, trafo step up dan penyearah. Dalam penelitian ini dilakukan modifikasi pada bahan katoda Ion Gauges berupa kawat pijar (wolfram) dan arus kolektor yang ditangkap oleh kolektor diubah ke dalam tegangan menggunakan rangkaian IV Converter. Di mana besarnya tegangan keluaran yang terukur oleh voltmeter digunakan sebagai parameter dalam pengukuran tekanan. Semakin kecil tegangan keluaran yang terukur menunjukkan nilai tekanan yang semakin menurun. Pengukuran yang ideal pada tegangan kisi 160 volt dengan range tekanan yang terukur mencapai 1,230.10-4 Torr selama 2 jam (120 menit) pengukuran