Pengaruh Penambahan Polyethylene Glycol (Peg) Dan Ukuran Butir Terhadap Sifat Kuat Tekan Bahan Target Karbon Berbahan Dasar Tempurung Kelapa Untuk Deposisi Lapisan Tipis

Pembuatan lapisan tipis dengan teknik physical vapor deposition memerlukan bahan target karbon berupa pellet dengan kemurnian karbon yang tinggi dan sifat mekanik yang baik. Serbuk karbon dengan kemurnian yang tinggi digiling (milling) menggunakan alat rotary mixer pada kecepatan 150 rpm, 190 rpm dan 230 rpm selama 20 jam sehingga diperoleh serbuk karbon dengan ukuran butir dalam orde mikro, yaitu 1,155μm, 0, 6771 μm, dan 0,8076 μm. Untuk menguatkan interaksi antar karbon pada bahan target, dilakukan penambahan polimer PEG (polyethylene glycol) sebagai binder sebanyak 20%, 25% dan 30%. Karbon dan PEG dicampur dengan metode mechanical mixing pada suhu 50℃ selama 1 jam, lalu dikompaksi dengan kekuatan sebesar 5 ton pada suhu 60℃ selama 30 menit. Terjadi peningkatan nilai kuat tekan terhadap ukuran butir karbon yang semakin kecil pada penambahan PEG sebanyak 20% dan 30%. Penambahan PEG sebanyak 20%, 25% dan 30% pada bahan target memberikan nilai kuat tekan yang cenderung menurun karena persentase penambahan PEG yang berlebihan. Nilai kuat tekan tertinggi yaitu 4,860 × 10