Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии
- Оджаев, В.Б.
- Петлицкий, А.Н.
- Плебанович, В.И.
- Садовский, П.К.
- Тарасик, М.И.
- Челядинский, А.Р.
Publication date
January 2018
DOI Publisher
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук (Санкт-Петербург)Abstract
Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb+ и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот
Add to ORKG