Численное исследование синтеза покрытия на подложке при инициировании реакции движущимся источником энергии

Предложена двумерная модель синтеза покрытия в условиях электронно-лучевой обработки Представлены результаты численного исследования модели, иллюстрирующие роль технологических параметров в режимах превращения. Показано, что степень превращения (а следовательно, и состав покрытия) существенно зависит от режима обработки