Нанорельеф поверхности германия и кремния при облучении низкоэнергетичными ионами

Экспериментально изучен рельеф поверхности монокристаллов кремния и германия, формирующийся под действием облучения ионами Аr+ и Ne+ с энергией 10 кэВ. С помощью атомно-силовой микроскопии обнаружено формирование рельефа с характерными размерами нанометрового диапазона. Установлено влияние степени легированности кремния на среднюю высоту образующегося нанорельефа Найдено также, что средняя высота определяется параметрами ионного облучения