ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩИХ СЛОЕВ АЛМАЗА

Исследовано влияние электронного облучения на электрические свойства токопроводящих слоев алмаза, изготовленных двумя различными методами. Установлено, что легированные бором слои р-типа являются чувствительными к электронному облучению. В противоположность этому, чувствительность слоев с проводимостью за счет дефектов имплантации лежит за пределами точности измерений