СТРУКТУРНО-ФАЗОВЫЙ СОСТАВ И НАНОТВЕРДОСТЬ ПЛЕНОК ХРОМ-ФУЛЛЕРИТ-ХРОМ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ БОРА

Методами атомно-силовой микроскопии, рентгенофазового анализа и наноиндентирования проведены исследования структуры, фазового состава и нанотвердости трехслойных пленок хром-фуллерит-хром, подвергнутых импланта-ции ионами В+ (Е = 80 кэВ, Ф = 5·1017 ион/см2). Установлено, что в результате ионной имплантации происходит переме-шивание слоев хрома и фуллерита, твердофазное взаимодействие, в результате которого формируется гетерофазная структура с повышенным значением нанотвердости по сравнению с неимплантированными образцами