МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ БОРА ПРИ ОТЖИГЕ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, СОЗДАННЫХ ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ

В настоящей работе проведенный анализ позволяет определить микроскопические механизмы переноса атомов бора в диапазоне температур от 800 до 900 ºС, когда имеет место переход от одного механизма диффузии к другому