Изучение характеристик компактного ионно-лучевого источника с анодным слоем

Исследованы вольтамперные характеристики компактного ионно-лучевого источника с анодным слоем в диапазоне напряжений разряда 1500 – 5000 В и расходов рабочего газа 2 – 7 sccm, а также профили плотности тока ионного пучка. Установлена возможность формирования пучка ионов, плотность тока которого достигает 60 мА/см2