Este proyecto describe la fabricación y caracterización de un sensor de micro fuerza consistente en una mezcla de polímero y silicio que está en período de desarrollo por el Instituto de Microtecnología de Braunschweig (Alemania). El objetivo de dicho sensor es su utilización como elemento sensible de un palpador por contacto para la nueva generación de máquinas de micro medición por coordenadas en las cuales se requieren fuerzas de palpado extremadamente bajas para no dañar el elemento medido así como elevadas precisiones (nanométricas)
El estado del arte actual de la instrumentación científica en sistemas biológicos corresponde al uso...
“Este trabajo tiene como objetivo la fabricación de un microsensor de presión capacitivo, mediante l...
Una de las etapas más importantes en la investigación científico-técnica, industrial y experimental ...
En las últimas décadas, la fabricación de dispositivos electrónicos de pequeñas dimensiones y la mic...
Consulta en la Biblioteca ETSI Industriales (7954)[es] El presente proyecto fin de carrera tiene por...
En las últimas décadas, la fabricación de dispositivos electrónicos de pequeñas dimensiones y la mic...
En esta tesis se realiza el análisis y la optimización del diseño de sensores de microondas, basados...
En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litograf...
En este trabajo se presenta un m´etodo no invasivo para la medición de microdeformaciones en estruct...
El diseño y la fabricación de los Micro-sensores se llevan a cabo mediante tecnología microelectróni...
[ES] La gran evolución que está sufriendo el mundo está al borde del punto de no retorno: las grande...
Se da a conocer un sensor de variables físicas de un primer objeto (2), en particular, de velocidad ...
TeseoLos contenidos de esta tesis se estructuran en cuatro capítulos diferenciados. En el primero de...
La Red MEMS-México es un consorcio que desarrolla proyectos innovadores dentro del campo tecnológico...
Se presenta el desarrollo sistema electrónico medir rapidez dirección viento forma continua. Se pret...
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