KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO

KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Lapisan tipis SnO2 dapat berfungi sebagai sensor gas CO, namun masih kurang stabil terhadap waktu, serta selektivitas dan sensitivitas terhadap gas masih kurang. Untuk memperoleh hasil yang lebih baik dalam penelitian ini metode Sputtering DC digunakan dalam deposisi lapisan tipis SnO2 dengan memvariasi waktu deposisi sputtering, waktu pendinginan pasca sputtering dan suhu operasi sensor (dalam karakterisasi). Diperoleh hasil terbaik untuk sampel dengan waktu deposisi 2 jam dan waktu pendinginan 3 jam, pada suhu operasi 250 oC. Dari penelitian ini dihasilkan sensor dengan kestabilan terhadap waktu yang relatif konstan pada nilai 38,85±4 kΩ. Selektivitas terhadap gas CO juga lebih baik dan sensitivitas memiliki gradian 4,1863(%ΔR)/ppm gas C