Technological techniques of Al–Al2O3 microstructures formation for powerful electromechanical systems

В результате проделанной работы получены алюмооксидные структуры Al-Al2O3, особенностью которых является значительная высота алюминиевых контактных площадок и проводящих элементов (300…450 мкм); большая толщина анодного оксида алюминия (150…600 мкм) с высокими пробивными напряжениями между контактными площадками (~8 кВ), которые могут быть использованы в мощных электромеханических системах. Исследованы методы высокоскоростного анодирования, локального глубокого анодирования и химического травления, позволяющие добиться получения практически вертикального профиля стенок в системе Al-Al2O3