Visualization of the defects of a separate component of a composite diffractive optical element

Показана возможность визуализации дефектов отдельной компонентытонкого составного дифракционного оптического элемента, представляющего композицию тонкой подложки и пары совмещенных элементарных решеток. Рассмотрены возможные варианты визуализации дефектов как подложки, таки отдельных элементарных решеток дифракционного оптического элемента с использованием различных интерференционных способов, хорошо развитых в голографической интерферометрии фазовых объектов. Приведены экспериментальные результаты