Preparation of ZnO: В films with different optical haze and their influence on а-Si: H/mc-Si: H layers formation aand light trapping in thin film silicon solar cells

Гидрогенизированные слои микроморфного кремния (a-Si:H/µc-Si:H) были получены на плёнках ZnO:B прозрачного проводящего оксида (ППО) с различной морфологией поверхности (различная шероховатость и оптическое рассеяние). Необходимая структура плёнок оксида цинка былa достигнута вариацией их толщины. Данная работа изучает зависимость структурных и оптических свойств слоёв Si от топографии ZnO. Наблюдается незначительное влияние морфологии поверхности подложек на рамановский фактор кристалличности. Он уменьшается примерно на 5% при увеличении оптического рассеяния на ППО от 2 до >40%, при этом значительно увеличивается общее собирание света в ZnO:B/a-Si:H/20% уровне рассеяния света на ППО