SIMULATION OF THE PRE-BREAKDOWN STAGE OF CAPACITIVE COUPLED RF DISCHARGE WITH ELECTROLITE ELECTRODE AT LOWPRESSURE

180-183Построена математическая модель, описывающая начальную стадию высокочастотного емкостного разряда с жидким электродом. Построенная математическая модель позволяет оценить основные характеристики аргона в промежутке между водой и нагруженным электродом.The mathematical model describing an initial stage of the high-frequency capacitor category with a liquid electrode is constructed. The constructed mathematical model allows us to estimate the main characteristics of argon between water and loaded electrode