Investigation of thin films of zinc oxide with the alloying additives of fluorides of rare-earth elements

Получены пленки оксида цинка, легированные фторидом гольмия, на кремниевой подложке при высокочастотном (5–50 кГц) многоимпульсном лазерном испарении керамической мишени. Структура пленок исследована на атомно-силовом микроскопе, изучены спектры фотолюминесценции, поглощения и комбинационного рассеяния света. Показано, что легирование оксида цинка фторидом гольмия приводит к существенному увеличению пропускания в области спектра от 1 до 10 мкм