Неорганические стекловидные диэлектрики для защиты элементов микросхем

В настоящей работе проводились исследования стекол на основе системы СаО—ВаО—Аl[2]0[3] —В20[3] —Si0[2] с целью получения диэлектрических покрытий по металлу для защиты элементов микросхем. Было установлено, что синтезированные стекла могут служить основой для получения толстопленочных диэлектрических покрытий металлов